电子级三氯氧磷

  • 所属分类:无机磷化工
  • 产品用途: 主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,特别是在芯片制造过程中,电子级三氯氧磷是必不可少的电子...

产品详情:

1、产品组成

2、质量指标

检测项目

技术指标6N

技术指标7N

三氯氧磷(POCl3 )w/%

99.9

99.9

纯度(基于阳离子)w/%

99.9999

99.99999

(Al)w/(μg/kg)

20

5

(Sb)w/(μg/kg)

10

3

(As)w/(μg/kg)

15

6

(Ba)w/(μg/kg)

10

1

(Bi)w/(μg/kg)

10

1

(Cd)w/(μg/kg)

10

3

(Ca)w/(μg/kg)

20

5

(Cr)w/(μg/kg)

10

1

(Co)w/(μg/kg)

10

1

(Cu)w/(μg/kg)

20

2

(Ga)w/(μg/kg)

1

1

(Au)w/(μg/kg)

1

1

(Fe)w/(μg/kg)

30

5

(Pb)w/(μg/kg)

10

3

(Li)w/(μg/kg)

10

6

(Mg)w/(μg/kg)

10

5

(Mn)w/(μg/kg)

20

1

(Hg)w/(μg/kg)

10

5

(Ni)w/(μg/kg)

10

1

(Nb)w/(μg/kg)

2

1

(K)w/(μg/kg)

20

3

(Ag)w/(μg/kg)

1

1

(Na)w/(μg/kg)

10

5

(Sn)w/(μg/kg)

5

1

(Sr)w/(μg/kg)

5

1

(Ti)w/(μg/kg)

5

2

(V)w/(μg/kg)

10

2

(Zn)w/(μg/kg)

5

1

色度/APHA

5

5

颗粒(≥0.3μm)/(个/mL)

50

50

3、产品包装
容器:高纯石英源瓶、镀膜高纯石英源瓶 外包装:容器外套厚质PVC塑料袋;PE专用箱内置海绵缓冲垫 规格:常用规格为500ml,1500ml;也可根据客户的要求进行包装
4、产品特性
电子级三氯氧磷在湿空气中激烈发烟,遇水猛烈反应生成磷酸,并释放出氯化氢气体,遇热时分解。在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。接触时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护用具。严禁与水接触,避免吸入蒸汽、接触皮肤及黏膜。当发生泄漏时,应用泥沙或石灰处理,如已接触皮肤,应立即用大量流动水冲洗。
5、产品应用
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,特别是在芯片制造过程中,电子级三氯氧磷是必不可少的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
6、储存条件
1、采用石英材质容器包装。容器置于有泡沫的木箱或塑料箱中。 属危险化学品,运输过程中应按照危险货物运输规则的要求进行运输。 应贮存在阴凉、干燥、通风良好的仓库内,远离火种、热源,应与还原剂、活性金属粉末、醇类等分开存放,贮存区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
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